潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行管控的密閉性較好的空間。由于精密機(jī)械工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。

相對濕度是衡量潔凈室等級標(biāo)準(zhǔn)的條件參數(shù)之一。實際上，一些應(yīng)用指定的偏差僅為1％RH，這是由于從物理/化學(xué)觀點(diǎn)上相對濕度對材料加工和存儲上的影響。

和其他污染（霉菌，，，螨蟲）在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍繁殖，甚至有一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。將潔凈室的相對濕度管控在40%至60%的范圍之間，地管控和其他的增長，降低其帶來的影響。

除了各種微的生長，溫濕度的管控在一定程度上可以防止各種化學(xué)反應(yīng)或改變反應(yīng)速度，譬如腐蝕，將隨著相對濕度的增高而加快。相對濕度在50%時易生銹，相反，有些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)性的氧化物，但并不是好事，因為有可能阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)，影響效率。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、前列技術(shù)密切聯(lián)系在一起。濕度的管控也不是越低越好。當(dāng)相對濕度小于30%時，靜電荷可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。較低的濕度容易造成電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散。高濕度實際上減小了靜電荷積累，這是人們希望的結(jié)果。

潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及上的不快。